Nanometer-scale active thermal devices for thermal microscopy probe calibration
Jun Yin
(1)
,
Tianqi Zhu
(1)
,
Di Zhou
(1)
,
Thierno-Moussa Bah
(1)
,
Stanislav Didenko
(1)
,
Séverine Gomes
(2)
,
Olivier Bourgeois
(3)
,
Didier Pellerin
(4)
,
Emmanuel Dubois
(1, 5)
,
J.F. Robillard
(1, 5)
1
IEMN -
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
2 CETHIL - Centre d'Energétique et de Thermique de Lyon
3 NEEL - TPS - Thermodynamique et biophysique des petits systèmes
4 Concept Scientific Instruments
5 MICROELEC SI - IEMN - Microélectronique Silicium - IEMN
2 CETHIL - Centre d'Energétique et de Thermique de Lyon
3 NEEL - TPS - Thermodynamique et biophysique des petits systèmes
4 Concept Scientific Instruments
5 MICROELEC SI - IEMN - Microélectronique Silicium - IEMN
Jun Yin
- Fonction : Auteur
- PersonId : 976121
Séverine Gomes
- Fonction : Auteur
- PersonId : 171288
- IdHAL : severine-gomes
- ORCID : 0000-0002-1173-7177
- IdRef : 115013636
Olivier Bourgeois
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1142888
- IdHAL : olivier-gabriel-bourgeois
- ORCID : 0000-0002-0465-7400
Emmanuel Dubois
- Fonction : Auteur
- PersonId : 738944
- IdHAL : emmanuel-dubois-iemn
- ORCID : 0000-0002-0347-010X
- IdRef : 134290291
J.F. Robillard
- Fonction : Auteur
- PersonId : 747199
- IdHAL : jean-francois-robillard
- ORCID : 0000-0002-7170-7535
- IdRef : 132947110