In situ X-ray studies during the early stage of ZnO Atomic Layer Deposition on InGaAs
E Skopin
,
L. Rapenne
(1)
,
H. Roussel
(1)
,
J.-L. Deschanvres
(1)
,
A. Crisci
(2)
,
E. Blanquet
(2)
,
G. Ciatto
(3)
,
D. Fong
,
M.-I. Richard
(4)
,
Hubert Renevier
(1)
E Skopin
- Fonction : Auteur
L. Rapenne
- Fonction : Auteur
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H. Roussel
- Fonction : Auteur
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J.-L. Deschanvres
- Fonction : Auteur
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E. Blanquet
- Fonction : Auteur
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D. Fong
- Fonction : Auteur
M.-I. Richard
- Fonction : Auteur
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Hubert Renevier
- Fonction : Auteur
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- IdHAL : hubert-renevier
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