Inductively coupled plasma etching of germanium tin for the fabrication of photonic components
L. Milord
(1)
,
J. Aubin
(1)
,
A. Gassenq
(2)
,
S. Tardif
(3)
,
K. Guilloy
(2)
,
N. Pauc
(2)
,
J. Rothman
(1)
,
A. Chelnokov
(1)
,
J. Hartmann
(1)
,
V. Calvo
(2)
,
V. Reboud
(1)
S. Tardif
- Fonction : Auteur
- PersonId : 171321
- IdHAL : samuel-tardif
- ORCID : 0000-0002-1786-8581
- IdRef : 151370494