Elaboration de couches minces de Silicium sur isolant (SOI) par le procédé Smart-Cut ^\textrmTM - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Journal sur l'enseignement des sciences et technologies de l'information et des systèmes Année : 2017

Elaboration de couches minces de Silicium sur isolant (SOI) par le procédé Smart-Cut ^\textrmTM

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https://hal.science/hal-01996904

Soumis le : lundi 28 janvier 2019-16:11:08

Dernière modification le : vendredi 11 octobre 2024-07:50:42

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Dates et versions

hal-01996904 , version 1 (28-01-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01996904 , version 1

Citer

Chérif Rouahbi, T. Besombes, Reasmey Phary Tan, Fabien Guérin, C. Capello, et al.. Elaboration de couches minces de Silicium sur isolant (SOI) par le procédé Smart-Cut ^\textrmTM. Journal sur l'enseignement des sciences et technologies de l'information et des systèmes, 2017, 16, pp.1011. ⟨hal-01996904⟩

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