High frequency modeling of Through Silicon Capacitors (TSC) architectures in silicon interposer
Khadim Dieng
(1)
,
Cédric Bermond
(1)
,
Philippe Artillan
(1, 2, 3)
,
Olivier Guiller
(4)
,
Thierry Lacrevaz
(1)
,
Sylvain Joblot
(5)
,
Gregory Houzet
(1)
,
Alexis Farcy
(5)
,
Yann Lamy
(4)
,
Bernard Flechet
(1)
1
IMEP-LAHC -
Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
2 USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry] - Université Savoie Mont Blanc
3 CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique
4 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
5 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
2 USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry] - Université Savoie Mont Blanc
3 CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique
4 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
5 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
Cédric Bermond
- Fonction : Auteur
- PersonId : 171824
- IdHAL : cedric-bermond
- ORCID : 0000-0003-1472-9081
- IdRef : 204250285
Philippe Artillan
- Fonction : Auteur
- PersonId : 8715
- IdHAL : philippe-artillan
- ORCID : 0000-0001-8736-0129
- IdRef : 132083582
Thierry Lacrevaz
- Fonction : Auteur
- PersonId : 172496
- IdHAL : thierry-lacrevaz
- ORCID : 0000-0002-6741-3497
- IdRef : 10293908X
Gregory Houzet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 171621
- IdHAL : gregory-houzet
- ORCID : 0000-0001-6028-6926
- IdRef : 140767088
Bernard Flechet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 172505
- IdHAL : bernard-flechet
- IdRef : 102939373