High sensitivity pH sensing on the BEOL of industrial FDSOI transistors - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Solid-State Electronics Année : 2017

High sensitivity pH sensing on the BEOL of industrial FDSOI transistors

Lama Rahhal
  • Fonction : Auteur
Getenet Tesega Ayele
  • Fonction : Auteur
Laboratoire Nanotechnologies Nanosystèmes
Stephane Monfray
  • Fonction : Auteur
STMicroelectronics [Crolles]
Jean-Pierre Cloarec
INL - Chimie et Nanobiotechnologies
CV
Benjamin Fornacciari
Eric Pardoux
CV
Céline Chevalier
INL - Plateforme Technologique Nanolyon
CV
Serge Ecoffey
Laboratoire Nanotechnologies Nanosystèmes
Dominique A Drouin
Université de Sherbrooke
Pierre Morin
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 757169
  • IdRef : 031449352
Philippe Garnier
Groupe de recherche sur le handicap, l’accessibilité, les pratiques éducatives et scolaires
Frédéric Boeuf
  • Fonction : Auteur
STMicroelectronics [Crolles]
Abdelkader Souifi
INL - Dispositifs Electroniques
CV

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics] Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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Citer

Lama Rahhal, Getenet Tesega Ayele, Stephane Monfray, Jean-Pierre Cloarec, Benjamin Fornacciari, et al.. High sensitivity pH sensing on the BEOL of industrial FDSOI transistors. Solid-State Electronics, 2017, 134, pp.22-29. ⟨10.1016/j.sse.2017.05.005⟩. ⟨hal-01987313⟩

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