Thermal Evolution of Implantation Damages in Mg-Implanted GaN Layers Grown on Si

Aurélien Lardeau-Falcy; Marianne Coig; Matthew Charles; Christophe Licitra; Joël Kanyandekwe; Frédéric Milesi; J. Eymery; Frédéric Mazen

doi:10.1149/08007.0131ecst

Article Dans Une Revue ECS Transactions Année : 2017

Thermal Evolution of Implantation Damages in Mg-Implanted GaN Layers Grown on Si

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Aurélien Lardeau-Falcy

Fonction : Auteur

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Marianne Coig

Fonction : Auteur

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Matthew Charles

Fonction : Auteur

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Christophe Licitra

Fonction : Auteur

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Joël Kanyandekwe

Fonction : Auteur

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Frédéric Milesi

Fonction : Auteur

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

J. Eymery

Fonction : Auteur
PersonId : 21210
IdHAL : joel-eymery
ORCID : 0000-0002-4216-1166
IdRef : 07759553X

Nanostructures et Rayonnement Synchrotron

Frédéric Mazen

Fonction : Auteur

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Domaines

Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

Joël Eymery : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01986707

Soumis le : samedi 19 janvier 2019-08:20:10

Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-09:23:48

Dates et versions

hal-01986707 , version 1 (19-01-2019)

Identifiants

HAL Id : hal-01986707 , version 1
DOI : 10.1149/08007.0131ecst

Citer

Aurélien Lardeau-Falcy, Marianne Coig, Matthew Charles, Christophe Licitra, Joël Kanyandekwe, et al.. Thermal Evolution of Implantation Damages in Mg-Implanted GaN Layers Grown on Si. ECS Transactions, 2017, 80 (7), pp.131-138. ⟨10.1149/08007.0131ecst⟩. ⟨hal-01986707⟩

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