Thermal Evolution of Implantation Damages in Mg-Implanted GaN Layers Grown on Si - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue ECS Transactions Année : 2017

Thermal Evolution of Implantation Damages in Mg-Implanted GaN Layers Grown on Si

Domaines

Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

Joël Eymery  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01986707

Soumis le : samedi 19 janvier 2019-08:20:10

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hal-01986707 , version 1 (19-01-2019)

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Citer

Aurélien Lardeau-Falcy, Marianne Coig, Matthew Charles, Christophe Licitra, Joël Kanyandekwe, et al.. Thermal Evolution of Implantation Damages in Mg-Implanted GaN Layers Grown on Si. ECS Transactions, 2017, 80 (7), pp.131-138. ⟨10.1149/08007.0131ecst⟩. ⟨hal-01986707⟩

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