Functional oxides on silicon for on-chip thermal management
Ramah Moalla
(1)
,
M. Apreutesei
(1)
,
Bertrand Vilquin
(1)
,
Philippe Regreny
(1)
,
Claude Botella
(1)
,
Grenet Geneviève
(1)
,
Adrian Carretero-Genevrier
(2, 3)
,
Jaume Gazquez
,
Gael Sebald
(4)
,
Nicolas Baboux
(5)
,
R. Debord
(6)
,
Stéphane Pailhes
(6)
,
Guillaume Saint-Girons
(1)
,
Romain Bachelet
(1)
1
INL - H&N -
INL - Hétéroepitaxie et Nanostructures
2 IES - Institut d’Electronique et des Systèmes
3 M2A - Matériaux, MicroCapteurs et Acoustique
4 LGEF - Laboratoire de Génie Electrique et Ferroélectricité
5 INL - DE - INL - Dispositifs Electroniques
6 ILM - Institut Lumière Matière [Villeurbanne]
2 IES - Institut d’Electronique et des Systèmes
3 M2A - Matériaux, MicroCapteurs et Acoustique
4 LGEF - Laboratoire de Génie Electrique et Ferroélectricité
5 INL - DE - INL - Dispositifs Electroniques
6 ILM - Institut Lumière Matière [Villeurbanne]
Bertrand Vilquin
- Fonction : Auteur
- PersonId : 18099
- IdHAL : bertrand-vilquin
- ORCID : 0000-0002-7404-0019
- IdRef : 070480885
Philippe Regreny
- Fonction : Auteur
- PersonId : 170337
- IdHAL : philippe-regreny
- ORCID : 0000-0003-2410-9425
- IdRef : 112700233
Grenet Geneviève
- Fonction : Auteur
- PersonId : 171645
- IdHAL : genevieve-grenet
- IdRef : 128722304
Adrian Carretero-Genevrier
- Fonction : Auteur
- PersonId : 14131
- IdHAL : adrien-carretero-genevrier
- ORCID : 0000-0003-0488-9452
Jaume Gazquez
- Fonction : Auteur
- PersonId : 777370
- ORCID : 0000-0002-2561-328X
Gael Sebald
- Fonction : Auteur
- PersonId : 172522
- IdHAL : gael-sebald
- ORCID : 0000-0003-4725-3489
- IdRef : 087380951
Nicolas Baboux
- Fonction : Auteur
- PersonId : 173550
- IdHAL : nicolas-baboux
- IdRef : 083282106
R. Debord
- Fonction : Auteur
- PersonId : 753936
- IdHAL : regis-debord
- ORCID : 0000-0003-3558-2779
Stéphane Pailhes
- Fonction : Auteur
- PersonId : 181915
- IdHAL : stephane-pailhes
- ORCID : 0000-0002-9221-7092
- IdRef : 092686923
Guillaume Saint-Girons
- Fonction : Auteur
- PersonId : 20810
- IdHAL : guillaume-saint-girons
- ORCID : 0000-0002-3669-3406
- IdRef : 071451595
Romain Bachelet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 20950
- IdHAL : romain-bachelet
- ORCID : 0000-0002-2910-0449
- IdRef : 113255810