Article Dans Une Revue
Journal of Physics: Condensed Matter
Année : 2002
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https://hal.science/hal-01951278
Soumis le : mardi 11 décembre 2018-12:27:53
Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:58:22
Citer
Magali Putero, K Faik, B Vidal. A comparative study of the interfacial roughness correlation and propagation in Mo/Si multilayers deposited using RF-magnetron sputtering on silicon, ule and zerodur substrates. Journal of Physics: Condensed Matter, 2002, 14 (39), pp.8955-8968. ⟨10.1088/0953-8984/14/39/305⟩. ⟨hal-01951278⟩
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