Kinetics study of NiPt(10 at.%)/Si0.7Ge0.3 solid state reactions - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Microelectronic Engineering Année : 2014

Kinetics study of NiPt(10 at.%)/Si0.7Ge0.3 solid state reactions

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Magali Putero  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01951263

Soumis le : mardi 11 décembre 2018-12:27:09

Dernière modification le : mardi 3 septembre 2024-11:16:05

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hal-01951263 , version 1 (11-12-2018)

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Citer

E. Bourjot, Magali Putero, C. Perrin-Pellegrino, P. Gergaud, Magali Gregoire, et al.. Kinetics study of NiPt(10 at.%)/Si0.7Ge0.3 solid state reactions. Microelectronic Engineering, 2014, 120, pp.163-167. ⟨10.1016/j.mee.2013.12.009⟩. ⟨hal-01951263⟩

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