Progress in the understanding of Ni silicide formation for advanced MOS structures - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Physica Status Solidi A (applications and materials science) Année : 2014

Progress in the understanding of Ni silicide formation for advanced MOS structures

Domaines

Matériaux Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

Magali Putero  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01951259

Soumis le : mardi 11 décembre 2018-12:27:01

Dernière modification le : mardi 24 septembre 2024-16:46:17

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Dates et versions

hal-01951259 , version 1 (11-12-2018)

Identifiants

Citer

Dominique Mangelinck, K. Hoummada, F. Panciera, M. El Kousseifi, I. Blum, et al.. Progress in the understanding of Ni silicide formation for advanced MOS structures. Physica Status Solidi A (applications and materials science), 2014, 211 (1), pp.152-165. ⟨10.1002/pssa.201300167⟩. ⟨hal-01951259⟩

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