Growth of Ge 1− x Sn x Nanowires by Chemical Vapor Deposition via Vapor-Liquid-Solid Mechanism Using GeH 4 and SnCl 4
Thibault Haffner
(1)
,
Mohammed Zeghouane
(2)
,
Franck Bassani
(1)
,
Pascal Gentile
(3)
,
Alban Gassenq
(3)
,
Fares Chouchane
(1)
,
Nicolas Pauc
,
Eugenie Martinez
(4)
,
Eric Robin
(5)
,
Sylvain David
(1)
,
Thierry Baron
(1)
,
Bassem Salem
(1)
1
LTM -
Laboratoire des technologies de la microélectronique
2 IP - Institut Pascal
3 SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures
4 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
5 LEMMA - Laboratoire d'Etude des Matériaux par Microscopie Avancée
2 IP - Institut Pascal
3 SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures
4 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
5 LEMMA - Laboratoire d'Etude des Matériaux par Microscopie Avancée
Franck Bassani
- Fonction : Auteur
- PersonId : 766293
- ORCID : 0000-0001-8688-1328
Pascal Gentile
- Fonction : Auteur
- PersonId : 170318
- IdHAL : pascal-gentile
- ORCID : 0000-0002-1547-4247
- IdRef : 202987515
Alban Gassenq
- Fonction : Auteur
- PersonId : 754914
- IdHAL : alban-gassenq
- ORCID : 0000-0003-0898-2646
Nicolas Pauc
- Fonction : Auteur
Eugenie Martinez
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1287023
- IdHAL : eugenie-martinez
- ORCID : 0000-0003-0889-2237
Eric Robin
- Fonction : Auteur
- PersonId : 172851
- IdHAL : robin-eric
- ORCID : 0000-0002-5596-2640
Sylvain David
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1086
- IdHAL : sylvain-david
Thierry Baron
- Fonction : Auteur
- PersonId : 739925
- IdHAL : thierry-baron
- ORCID : 0000-0001-5005-6596
- IdRef : 130661813
Bassem Salem
- Fonction : Auteur
- PersonId : 174867
- IdHAL : bassem-salem
- ORCID : 0000-0001-8038-3205
- IdRef : 092216625