Ultralow equivalent oxide thickness obtained for thin amorphous LaAlO3 layers grown on Si(001)
L. Becerra
(1)
,
C. Merckling
,
N. Baboux
(2)
,
C. Plossu
(2)
,
O. Marty
(3)
,
M. El-Kazzi
,
Guillaume Saint-Girons
(4)
,
B. Vilquin
(4)
,
G. Hollinger
(4)
C. Merckling
- Fonction : Auteur
N. Baboux
- Fonction : Auteur
- PersonId : 173550
- IdHAL : nicolas-baboux
- IdRef : 083282106
M. El-Kazzi
- Fonction : Auteur
Guillaume Saint-Girons
- Fonction : Auteur
- PersonId : 20810
- IdHAL : guillaume-saint-girons
- ORCID : 0000-0002-3669-3406
- IdRef : 071451595
B. Vilquin
- Fonction : Auteur
- PersonId : 18099
- IdHAL : bertrand-vilquin
- ORCID : 0000-0002-7404-0019
- IdRef : 070480885