Microfabricated sensor platform with through-glass vias for bidirectional 3-omega thermal characterization of solid and liquid samples
Corinna Grosse
(1)
,
Mohamad Abo Ras
(1)
,
Aapo Varpula
(2)
,
Kestutis Grigoras
(2)
,
Daniel May
(1, 3)
,
Bernhard Wunderle
(3)
,
Pierre-Olivier Chapuis
(4, 5)
,
Séverine Gomès
(5, 4)
,
Mika Prunnila
(6)
1
Berliner Nanotest und Design GmbH
2 VTT - VTT Technical Research Centre of Finland
3 Chemnitz University of Technology / Technische Universität Chemnitz
4 INSA Lyon - Institut National des Sciences Appliquées de Lyon
5 CETHIL - Centre d'Energétique et de Thermique de Lyon
6 Technical Research Centre of Finland
2 VTT - VTT Technical Research Centre of Finland
3 Chemnitz University of Technology / Technische Universität Chemnitz
4 INSA Lyon - Institut National des Sciences Appliquées de Lyon
5 CETHIL - Centre d'Energétique et de Thermique de Lyon
6 Technical Research Centre of Finland
Pierre-Olivier Chapuis
- Fonction : Auteur
- PersonId : 171286
- IdHAL : pierre-olivier-chapuis
- ORCID : 0000-0002-6264-2530
- IdRef : 191202266
Séverine Gomès
- Fonction : Auteur
- PersonId : 171288
- IdHAL : severine-gomes
- ORCID : 0000-0002-1173-7177
- IdRef : 115013636