Prediction of porous dielectric line wiggling phenomenon with metallic hard mask: From simulation to experiment
| Origine | Fichiers éditeurs autorisés sur une archive ouverte |
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Soumis le : jeudi 8 novembre 2018-17:44:20
Dernière modification le : samedi 27 septembre 2025-19:40:31
Archivage à long terme le : samedi 9 février 2019-14:50:03