Article Dans Une Revue
Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics
Année : 2015
Maxime Darnon : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01916773
Soumis le : jeudi 8 novembre 2018-17:27:09
Dernière modification le : mercredi 4 septembre 2024-03:12:25
Citer
Maxime Darnon, Névine Rochat, Christophe Licitra. Modification of porous SiOCH by first contact with water vapor after plasma process. Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics, 2015, 33 (6), pp.061205. ⟨10.1116/1.4932533⟩. ⟨hal-01916773⟩
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