Article Dans Une Revue
World journal of mechanics
Année : 2018
Christophe Malhaire : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01914576
Soumis le : mercredi 7 novembre 2018-08:16:22
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:08
Citer
Christophe Malhaire, A. Danescu, V. Lysenko, A. Sabac. Porous Silicon as Soft Material in Low-Frequency MEMS (MicroElectro-Mechanical Systems) Resonators. World journal of mechanics, 2018, 08 (11), pp.431 - 443. ⟨10.4236/wjm.2018.811031⟩. ⟨hal-01914576⟩
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