Article Dans Une Revue
Journal of Laser Micro/Nanoengineering
Année : 2016
UMI3463 LN2 : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01914433
Soumis le : mardi 6 novembre 2018-20:35:07
Dernière modification le : mardi 28 mai 2024-11:48:02
Citer
Neng Liu, Moumanis Khalid, Vincent Jonathan, Jan J. Dubowski. Processing of Back Surface of Si Wafers With a Pulsed Nd:YAG Laser. Journal of Laser Micro/Nanoengineering, 2016, 11 (2), pp.232 - 238. ⟨10.2961/jlmn.2016.02.0014⟩. ⟨hal-01914433⟩
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