Optical strain measurement in ultrathin sSOI wafers.
J. Munguía
(1)
,
H. Chouaib
(1)
,
J. de La Torre
(1)
,
G. Bremond
(2, 1)
,
C. Bru-Chevallier
(2, 1)
,
A. Sibai
(1)
,
B. Champagnon
(3)
,
M. Moreau
(4)
,
J. M. Bluet
(2, 1)
C. Bru-Chevallier
- Fonction : Auteur
- PersonId : 18273
- IdHAL : catherine-bru-chevallier
- ORCID : 0000-0002-1800-2579
- IdRef : 033592837
J. M. Bluet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 171278
- IdHAL : jean-marie-bluet
- ORCID : 0000-0002-1672-6725
- IdRef : 085577448