Microphotoreflectance spectroscopy of heterojunction bipolar transistors under biasing voltage: Measurement of the net doping concentration - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Applied Physics Letters Année : 2007

Microphotoreflectance spectroscopy of heterojunction bipolar transistors under biasing voltage: Measurement of the net doping concentration

Houssam Chouaib
  • Fonction : Auteur
KLA TENCOR
C. Bru-Chevallier
INL - Spectroscopies et Nanomatériaux
CV

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics] Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.science/hal-01902222

Soumis le : mardi 23 octobre 2018-15:11:26

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hal-01902222 , version 1 (23-10-2018)

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Citer

Houssam Chouaib, C. Bru-Chevallier. Microphotoreflectance spectroscopy of heterojunction bipolar transistors under biasing voltage: Measurement of the net doping concentration. Applied Physics Letters, 2007, 90 (26), ⟨10.1063/1.2751591⟩. ⟨hal-01902222⟩

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