Ultimate limits of differential resonant MEMS sensors based on two coupled linear resonators - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control Année : 2018

Ultimate limits of differential resonant MEMS sensors based on two coupled linear resonators

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Micro et nanotechnologies/Microélectronique Electronique
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Citer

Jérôme Juillard, Pierre M Prache, Pietro Maris Ferreira, Nuria Barniol. Ultimate limits of differential resonant MEMS sensors based on two coupled linear resonators. IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control, 2018, 65 (12), pp.2440 - 2448. ⟨10.1109/tuffc.2018.2869415⟩. ⟨hal-01868247⟩

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