Patterning process and actuation in open air of micro-beam actuator based on conducting IPNs - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2012

Patterning process and actuation in open air of micro-beam actuator based on conducting IPNs

Domaines

Matériaux Mécanique [physics] Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Alexandre Khaldi  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01829117

Soumis le : mardi 3 juillet 2018-17:47:46

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

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Dates et versions

hal-01829117 , version 1 (03-07-2018)

Identifiants

Citer

Alexandre Khaldi, Cedric Plesse, Caroline Soyer, Claude Chevrot, Dominique Teyssie, et al.. Patterning process and actuation in open air of micro-beam actuator based on conducting IPNs. SPIE Smart Structures and Materials + Nondestructive Evaluation and Health Monitoring, 2012, San Diego, United States. ⟨10.1117/12.915086⟩. ⟨hal-01829117⟩

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