Article Dans Une Revue
Instrumentation, Metrology, and Standards For Nanomanufacturing, Optics, and Semiconductors Vi
Année : 2012
Judikaël Le Rouzo : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01810805
Soumis le : vendredi 8 juin 2018-11:18:10
Dernière modification le : lundi 10 juin 2024-16:58:03
Citer
Thomas Wood, Judikaël Le Rouzo, François Flory, Paul Coudray, Valmor Roberto Mastelaro, et al.. Comparison of Refractive Indices measured by m-lines and Ellipsometry: application to Polymer Blend and Ceramic Thin Films for Gas Sensors. Instrumentation, Metrology, and Standards For Nanomanufacturing, Optics, and Semiconductors Vi, 2012, 8466, ⟨10.1117/12.928693⟩. ⟨hal-01810805⟩
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