Comparison of Refractive Indices measured by m-lines and Ellipsometry: application to Polymer Blend and Ceramic Thin Films for Gas Sensors - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Instrumentation, Metrology, and Standards For Nanomanufacturing, Optics, and Semiconductors Vi Année : 2012

Comparison of Refractive Indices measured by m-lines and Ellipsometry: application to Polymer Blend and Ceramic Thin Films for Gas Sensors

Thomas Wood
Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
Judikaël Le Rouzo
Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
CV
François Flory
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 949097
OPTO-PV
Paul Coudray
  • Fonction : Auteur
KLOE
Valmor Roberto Mastelaro
  • Fonction : Auteur
Pedro Pelissari
  • Fonction : Auteur
Sergio Zilio
  • Fonction : Auteur
Mt Postek
  • Fonction : Auteur
Va Coleman
  • Fonction : Auteur
Ng Orji
  • Fonction : Auteur

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique Optique / photonique

Judikaël Le Rouzo  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01810805

Soumis le : vendredi 8 juin 2018-11:18:10

Dernière modification le : lundi 10 juin 2024-16:58:03

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hal-01810805 , version 1 (08-06-2018)

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Citer

Thomas Wood, Judikaël Le Rouzo, François Flory, Paul Coudray, Valmor Roberto Mastelaro, et al.. Comparison of Refractive Indices measured by m-lines and Ellipsometry: application to Polymer Blend and Ceramic Thin Films for Gas Sensors. Instrumentation, Metrology, and Standards For Nanomanufacturing, Optics, and Semiconductors Vi, 2012, 8466, ⟨10.1117/12.928693⟩. ⟨hal-01810805⟩

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