Article Dans Une Revue
Optics Communications
Année : 2013
Judikaël Le Rouzo : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01810801
Soumis le : vendredi 8 juin 2018-11:18:02
Dernière modification le : lundi 10 juin 2024-16:58:03
Citer
Thomas Wood, Vincent Brissonneau, Jean-Baptiste Brueckner, Gerard Berginc, François Flory, et al.. Optical measurement of exposure depth and refractive index in positive photoresists. Optics Communications, 2013, 291, pp.184-192. ⟨10.1016/j.optcom.2012.10.062⟩. ⟨hal-01810801⟩
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