Investigation of hafnium-aluminate alloys in view of integration as interpoly dielectrics of future Flash memories - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Solid-State Electronics Année : 2007

Investigation of hafnium-aluminate alloys in view of integration as interpoly dielectrics of future Flash memories

G. Molas
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
Marc Bocquet
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
CV
J. Buckley
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
H. Grampeix
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
M. Gely
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
J.-P. Colonna
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
C. Licitra
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
N. Rochat
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
T. Veyron
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
X. Garros
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Marc Bocquet  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

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Soumis le : vendredi 1 juin 2018-09:12:46

Dernière modification le : vendredi 4 octobre 2024-16:10:10

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Dates et versions

hal-01804685 , version 1 (01-06-2018)

Identifiants

Citer

G. Molas, Marc Bocquet, J. Buckley, H. Grampeix, M. Gely, et al.. Investigation of hafnium-aluminate alloys in view of integration as interpoly dielectrics of future Flash memories. Solid-State Electronics, 2007, 51 (11-12), pp.1540 - 1546. ⟨10.1016/j.sse.2007.09.020⟩. ⟨hal-01804685⟩

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