Low-loss grating-coupled optical interfaces for large-volume fabrication with deep-ultraviolet optical lithography - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2018

Low-loss grating-coupled optical interfaces for large-volume fabrication with deep-ultraviolet optical lithography

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Micro et nanotechnologies/Microélectronique Optique / photonique
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Daniel Benedikovic  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01800594

Soumis le : mardi 18 septembre 2018-15:58:31

Dernière modification le : vendredi 17 mai 2024-14:38:06

Archivage à long terme le : mercredi 19 décembre 2018-12:31:25

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Dates et versions

hal-01800594 , version 1 (18-09-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01800594 , version 1

Citer

Daniel Benedikovic, Carlos Alberto Alonso-Ramos, Sylvain Guerber, Diego Pérez-Galacho, Vladyslav Vakarin, et al.. Low-loss grating-coupled optical interfaces for large-volume fabrication with deep-ultraviolet optical lithography. SPIE Photonics Europe, Apr 2018, Strasbourg, France. ⟨hal-01800594⟩

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