Article Dans Une Revue
ACS Applied Materials & Interfaces
Année : 2014
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https://hal.science/hal-01798236
Soumis le : mercredi 23 mai 2018-12:02:24
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:41:45
Citer
C. Girardot, S. Böhme, S. Archambault, M. Salaün, E. Latu-Romain, et al.. Pulsed transfer etching of PS–PDMS block copolymers self-assembled in 193 nm lithography stacks. ACS Applied Materials & Interfaces, 2014, 18 (6), pp.16276-16282. ⟨10.1021/am504475q⟩. ⟨hal-01798236⟩
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