Order quantification of hexagonal periodic arrays fabricated by in situ solvent-assisted nanoimprint lithography of block copolymers - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Nanotechnology Année : 2014

Order quantification of hexagonal periodic arrays fabricated by in situ solvent-assisted nanoimprint lithography of block copolymers

C. Simao
  • Fonction : Auteur
W. Khunsin
  • Fonction : Auteur
N. Kehagias
  • Fonction : Auteur
M. Salaün
Optique et Matériaux
Laboratoire des technologies de la microélectronique
CV
M. Zelsmann
Laboratoire des technologies de la microélectronique
M. A. Morris
  • Fonction : Auteur
C. M. Sotomayor Torres
  • Fonction : Auteur

Domaines

Physique [physics]

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https://hal.science/hal-01798223

Soumis le : mercredi 23 mai 2018-11:55:46

Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-09:42:38

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Dates et versions

hal-01798223 , version 1 (23-05-2018)

Identifiants

Citer

C. Simao, W. Khunsin, N. Kehagias, M. Salaün, M. Zelsmann, et al.. Order quantification of hexagonal periodic arrays fabricated by in situ solvent-assisted nanoimprint lithography of block copolymers. Nanotechnology, 2014, 25 (17), pp.175703. ⟨10.1088/0957-4484/25/17/175703⟩. ⟨hal-01798223⟩

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