Porous Silicon/Silicon Hybrid Substrate Applied to the Monolithic Integration of Common-Mode and Bandpass RF Filters - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue IEEE Transactions on Electron Devices Année : 2015

Porous Silicon/Silicon Hybrid Substrate Applied to the Monolithic Integration of Common-Mode and Bandpass RF Filters

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Christophe THIBAULT  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01784767

Soumis le : jeudi 3 mai 2018-17:15:37

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hal-01784767 , version 1 (03-05-2018)

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Citer

Marie Capelle, Jérôme Billoue, Patrick Poveda, Gael Gautier. Porous Silicon/Silicon Hybrid Substrate Applied to the Monolithic Integration of Common-Mode and Bandpass RF Filters. IEEE Transactions on Electron Devices, 2015, 62 (12), pp.4169-4173. ⟨10.1109/TED.2015.2483840⟩. ⟨hal-01784767⟩

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