Communication Dans Un Congrès
Année : 2015
Emmanuelle Algre : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01771676
Soumis le : jeudi 19 avril 2018-16:45:47
Dernière modification le : jeudi 13 avril 2023-09:26:12
Citer
Etienne Herth, Franck Lardet-Vieudrin, Laurie Valbin, Emmanuelle Algre. Detecting response of square and circular Si/AlN/Al membranes transducers by Laser Vibrometry Doppler and Impedancemeter. 2015 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP), Apr 2015, Montpellier, France. ⟨10.1109/DTIP.2015.7160996⟩. ⟨hal-01771676⟩
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