Detection of out-of-plane and in-plane (XYZ) motions of piezoelectric microcantilever by 3D-Laser Doppler Vibrometry
Etienne Herth
(1)
,
Franck Lardet-Vieudrin
(1)
,
Florent Deux
,
Laurie Valbin
(2)
,
Emmanuelle Algre
(2)
,
Jochen Schell
,
Heinrich Steger
Etienne Herth
- Fonction : Auteur
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Florent Deux
- Fonction : Auteur
Emmanuelle Algre
- Fonction : Auteur
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- ORCID : 0000-0002-4891-9126
- IdRef : 110912640
Jochen Schell
- Fonction : Auteur
Heinrich Steger
- Fonction : Auteur
Format du dépôt | Notice |
---|---|
Type de dépôt | Communication dans un congrès |
Titre |
en
Detection of out-of-plane and in-plane (XYZ) motions of piezoelectric microcantilever by 3D-Laser Doppler Vibrometry
|
Auteur(s) |
Etienne Herth
1
, Franck Lardet-Vieudrin
1
, Florent Deux
, Laurie Valbin
2
, Emmanuelle Algre
2
, Jochen Schell
, Heinrich Steger
1
FEMTO-ST -
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
( 866 )
- 32 avenue de l'Observatoire 25044 BESANCON CEDEX
- France
2
ESYCOM -
Electronique, Systèmes de communication et Microsystèmes
( 43154 )
- Université de Paris-Est - Marne-la-Vallée, Cité Descartes, Bâtiment Copernic, 5 bd Descartes, 77454 Marne-la-Vallée Cedex 2
- France
|
Langue du document |
Anglais
|
Vulgarisation |
Non
|
Comité de lecture |
Oui
|
Invité |
Non
|
Audience |
Internationale
|
Actes |
Non
|
Titre du congrès |
2016 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP)
|
Date début congrès |
2016-05-30
|
Date fin congrès |
2016-06-02
|
Ville |
Budapest
|
Pays |
France
|
Domaine(s) |
|
Éditeur commercial |
|
DOI | 10.1109/DTIP.2016.7514876 |
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