Detection of out-of-plane and in-plane (XYZ) motions of piezoelectric microcantilever by 3D-Laser Doppler Vibrometry - HAL Accéder directement au contenu
Communication dans un congrès Année : 2016

Detection of out-of-plane and in-plane (XYZ) motions of piezoelectric microcantilever by 3D-Laser Doppler Vibrometry

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Dates et versions

hal-01771668, version 1 (19-04-2018)

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Citer

Etienne Herth, Franck Lardet-Vieudrin, Florent Deux, Laurie Valbin, Emmanuelle Algre, et al.. Detection of out-of-plane and in-plane (XYZ) motions of piezoelectric microcantilever by 3D-Laser Doppler Vibrometry. 2016 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP), May 2016, Budapest, France. ⟨10.1109/DTIP.2016.7514876⟩. ⟨hal-01771668⟩
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Dernière date de mise à jour le 25/06/2024
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