Research Application and Platform Establishment of Electrochemical Atomic Layer Deposition
电化学原子层沉积研究现状及沉积体系的构建
Résumé
近年来%电化学原子层沉积!^J4*<8>*:4U2*)J)<>U2*J)K48?4]>;2<2>=%^.D(V"技术在制 备催化’光电及热电等功能薄膜的研究和应用方面取得了较大进展G概述了 ^.D(V的发展历史’沉积原 理’研究及应用情况%介绍了课题组研发的 ^.D(V系统的构成和生长过程的控制机理G 关键词! 电化学原子层沉积&电化学原子层外延&功能薄膜&沉积系统