Strain imaging of processed layers and devices by dark field electron holography - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2014

Strain imaging of processed layers and devices by dark field electron holography

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Physique [physics]

Isabelle Labau  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01763638

Soumis le : mercredi 11 avril 2018-12:04:05

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:15

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Dates et versions

hal-01763638 , version 1 (11-04-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01763638 , version 1

Citer

Alain Claverie, Victor Boureau, Martin Hÿtch, Nikolay Cherkashin. Strain imaging of processed layers and devices by dark field electron holography. Congress of the Electron Microscopy Society of India, Jul 2014, ??, India. ⟨hal-01763638⟩

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