Mechanisms involved in the transformation of ppHMDSO films into SiO2-like by oxygen plasma treatment - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2003

Mechanisms involved in the transformation of ppHMDSO films into SiO2-like by oxygen plasma treatment

G. Borvon
  • Fonction : Auteur
Institut des Matériaux Jean Rouxel
Angelique Bousquet
Institut des Matériaux Jean Rouxel
CV
Antoine Goulet
  • Fonction : Auteur
Institut des Matériaux Jean Rouxel
Agnès Granier
Institut des Matériaux Jean Rouxel
Arie van Der Lee
Institut Européen des membranes
V. Rouessac
Institut Européen des membranes
CV

Domaines

Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci] Plasmas

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https://hal.science/hal-01741513

Soumis le : vendredi 23 mars 2018-11:01:30

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:12

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Dates et versions

hal-01741513 , version 1 (23-03-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01741513 , version 1

Citer

G. Borvon, Angelique Bousquet, Antoine Goulet, Agnès Granier, Arie van Der Lee, et al.. Mechanisms involved in the transformation of ppHMDSO films into SiO2-like by oxygen plasma treatment. International Colloquium on Plasma processes (CIP), Jun 2003, Antibes, France. ⟨hal-01741513⟩

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