Fragmentation en PECVD de précurseurs organisiliciés pour le dépôt de membranes sélectives - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2002

Fragmentation en PECVD de précurseurs organisiliciés pour le dépôt de membranes sélectives

V. Rouessac
Jean Durand
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 866472
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01741486 , version 1 (23-03-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01741486 , version 1

Citer

V. Rouessac, Jean Durand. Fragmentation en PECVD de précurseurs organisiliciés pour le dépôt de membranes sélectives. Matériaux 2002, Oct 2002, Tous, France. ⟨hal-01741486⟩
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