Sorption and permeation characteristics of hybrid organosilicon thin films deposited by PECVD - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2002

Sorption and permeation characteristics of hybrid organosilicon thin films deposited by PECVD

V. Rouessac
Florence Bosc
Jose Sanchez
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 864010
Jean Durand
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 866472
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01741467 , version 1 (23-03-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01741467 , version 1

Citer

V. Rouessac, Florence Bosc, Jose Sanchez, Jean Durand. Sorption and permeation characteristics of hybrid organosilicon thin films deposited by PECVD. ICIM7 Conference, Jun 2002, Dalian, China. ⟨hal-01741467⟩
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