Effect of ion bombardment on the structural and optical properties of TiO 2 thin films deposited from oxygen/titanium tetraisopropoxide inductively coupled plasma - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Thin Solid Films Année : 2015

Effect of ion bombardment on the structural and optical properties of TiO 2 thin films deposited from oxygen/titanium tetraisopropoxide inductively coupled plasma

D. Li
  • Fonction : Auteur
Michel Carette
Laboratoire Chimie Provence
A. Granier
  • Fonction : Auteur
J.P. Landesman
  • Fonction : Auteur
Institut des Matériaux Jean Rouxel
A. Goullet
  • Fonction : Auteur
Institut des Matériaux Jean Rouxel

Domaines

Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

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https://hal.science/hal-01725497

Soumis le : mercredi 7 mars 2018-15:08:34

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hal-01725497 , version 1 (07-03-2018)

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Citer

D. Li, Michel Carette, A. Granier, J.P. Landesman, A. Goullet. Effect of ion bombardment on the structural and optical properties of TiO 2 thin films deposited from oxygen/titanium tetraisopropoxide inductively coupled plasma. Thin Solid Films, 2015, 589, pp.783 - 791. ⟨10.1016/j.tsf.2015.07.015⟩. ⟨hal-01725497⟩

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