Determination of critical process steps for enhanced yield improvement - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 1996

Determination of critical process steps for enhanced yield improvement

J. Duluc
  • Fonction : Auteur
Thomas Zimmer
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Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
N. Lewis
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Laboratoire de l'intégration, du matériau au système
Jean Dom
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Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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hal-01721693 , version 1 (02-03-2018)

Identifiants

Citer

J. Duluc, Thomas Zimmer, N. Lewis, Jean Dom. Determination of critical process steps for enhanced yield improvement. Microelectronic Manufacturing 1996, Sep 1996, Austin, France. ⟨10.1117/12.250852⟩. ⟨hal-01721693⟩

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