Direct current microhollow cathode discharges on silicon devices operating in argon and helium - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Plasma Sources Science and Technology Année : 2018

Direct current microhollow cathode discharges on silicon devices operating in argon and helium

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique Plasmas Génie des procédés

Rémi Dussart  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01701973

Soumis le : mardi 6 février 2018-13:37:02

Dernière modification le : mardi 4 juin 2024-11:28:03

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Dates et versions

hal-01701973 , version 1 (06-02-2018)

Identifiants

Citer

Ronan Michaud, Valentin Felix, Arnaud Stolz, Olivier Aubry, Philippe Lefaucheux, et al.. Direct current microhollow cathode discharges on silicon devices operating in argon and helium. Plasma Sources Science and Technology, 2018, 27 (2), pp.025005. ⟨10.1088/1361-6595/aaa870⟩. ⟨hal-01701973⟩

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