PEALD Platinum Nano-island SET Fabrication and Electrical Characterization
Daniel Thomas
(1, 2)
,
Etienne Puyoo
(2)
,
M. Le Berre
(2)
,
Liviu Militaru
(2)
,
S. Koneti
,
Annie Malchere
(3)
,
Lucian Roiban
(3)
,
Andreï Sabac
(4)
,
Khaled Ayadi
(5)
,
Céline Chevalier
(6)
,
Joëlle Gregoire
(5)
,
Francis Calmon
(2)
,
Brice Gautier
(2)
1
STI-IMM-LEG
2 INL - DE - INL - Dispositifs Electroniques
3 MATEIS - Matériaux, ingénierie et science [Villeurbanne]
4 FEMTO-ST - Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
5 INL - Nanolyon - INL - Plateforme Technologique Nanolyon
6 INL - PV - INL - Photovoltaïque
2 INL - DE - INL - Dispositifs Electroniques
3 MATEIS - Matériaux, ingénierie et science [Villeurbanne]
4 FEMTO-ST - Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
5 INL - Nanolyon - INL - Plateforme Technologique Nanolyon
6 INL - PV - INL - Photovoltaïque
Etienne Puyoo
- Fonction : Auteur
- PersonId : 20762
- IdHAL : etienne-puyoo
- ORCID : 0000-0003-0509-0837
- IdRef : 149980426
M. Le Berre
- Fonction : Auteur
- PersonId : 173582
- IdHAL : martineleberre
- ORCID : 0000-0003-4935-7951
- IdRef : 084065826
Liviu Militaru
- Fonction : Auteur
- PersonId : 173395
- IdHAL : liviu-militaru
- IdRef : 14496869X
S. Koneti
- Fonction : Auteur
Annie Malchere
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1077657
- IdHAL : annie-malchere
- ORCID : 0000-0002-8921-5387
Lucian Roiban
- Fonction : Auteur
- PersonId : 21294
- IdHAL : lucian-roiban
- ORCID : 0000-0003-1989-7367
- IdRef : 149735960
Andreï Sabac
- Fonction : Auteur
- PersonId : 169809
- IdHAL : andrei-sabac
- ORCID : 0000-0001-9305-1701
- IdRef : 09212545X
Céline Chevalier
- Fonction : Auteur
- PersonId : 170790
- IdHAL : celine-chevalier
- ORCID : 0009-0006-2719-6455
Francis Calmon
- Fonction : Auteur
- PersonId : 20789
- IdHAL : francis-calmon
- ORCID : 0000-0001-5076-076X
- IdRef : 096255838
Brice Gautier
- Fonction : Auteur
- PersonId : 15263
- IdHAL : brice-gautier
- ORCID : 0000-0002-0705-9967
- IdRef : 098448617
Résumé
no abstract