Pt nanoislands embedded in Al2O3 matrix: from ALD-based fabrication to structural to electrical characterization

Daniel Thomas; Etienne Puyoo; Martine Le Berre; Liviu Militaru; S. Koneti; Annie Malchere; Lucian Roiban; Andreï Sabac; David Albertini; Bruno Canut; Francis Calmon; Brice Gautier

Communication Dans Un Congrès Année : 2017

Pt nanoislands embedded in Al2O3 matrix: from ALD-based fabrication to structural to electrical characterization

(1, 2) , (2) , (2) , (2) , , (3) , (3) , (4, 2) , (5) , (6) , (2) , (2)

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6

Daniel Thomas

Fonction : Auteur

STI-IMM-LEG

INL - Dispositifs Electroniques

Etienne Puyoo

Fonction : Auteur
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IdHAL : etienne-puyoo
ORCID : 0000-0003-0509-0837
IdRef : 149980426

INL - Dispositifs Electroniques

Martine Le Berre

Fonction : Auteur
PersonId : 173582
IdHAL : martineleberre
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INL - Dispositifs Electroniques

Liviu Militaru

Fonction : Auteur
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IdHAL : liviu-militaru
IdRef : 14496869X

INL - Dispositifs Electroniques

S. Koneti

Fonction : Auteur

Annie Malchere

Fonction : Auteur
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IdHAL : annie-malchere
ORCID : 0000-0002-8921-5387

Matériaux, ingénierie et science [Villeurbanne]

Lucian Roiban

Fonction : Auteur
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IdHAL : lucian-roiban
ORCID : 0000-0003-1989-7367
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Matériaux, ingénierie et science [Villeurbanne]

Andreï Sabac

Fonction : Auteur
PersonId : 169809
IdHAL : andrei-sabac
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IdRef : 09212545X

Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)

INL - Dispositifs Electroniques

David Albertini

Fonction : Auteur
PersonId : 738192
IdHAL : dalbertini
IdRef : 25313577X

INL - Plateforme Technologique Nanolyon

Bruno Canut

Fonction : Auteur
PersonId : 748407
IdHAL : bruno-canut

INL - Spectroscopies et Nanomatériaux

Francis Calmon

Fonction : Auteur
PersonId : 20789
IdHAL : francis-calmon
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INL - Dispositifs Electroniques

Brice Gautier

Fonction : Auteur
PersonId : 15263
IdHAL : brice-gautier
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IdRef : 098448617

INL - Dispositifs Electroniques

Résumé

no abstract

Domaines

Physique [physics] Micro et nanotechnologies/Microélectronique Optique [physics.optics] Optique / photonique Matériaux

Laboratoire INL UMR5270 Inl : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01701466

Soumis le : lundi 5 février 2018-18:14:43

Dernière modification le : lundi 18 décembre 2023-15:22:25

Dates et versions

hal-01701466 , version 1 (05-02-2018)

Identifiants

HAL Id : hal-01701466 , version 1

Citer

Daniel Thomas, Etienne Puyoo, Martine Le Berre, Liviu Militaru, S. Koneti, et al.. Pt nanoislands embedded in Al2O3 matrix: from ALD-based fabrication to structural to electrical characterization. EMRS Spring Meeting, Jan 2017, Strasbourg, France. ⟨hal-01701466⟩

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