Communication Dans Un Congrès
Année : 2002
Gilles Amendola : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01694312
Soumis le : samedi 27 janvier 2018-09:35:47
Dernière modification le : lundi 29 janvier 2024-19:10:02
Citer
Olivier Gigan, Hua Chen, Olivier Robert, Gilles Amendola, Olivier Français, et al.. Fabrication and characterization of resonant SOI micromechanical silicon sensors based on DRIE micromachining, freestanding release process and silicon direct bonding. SPIE's International Symposium on Smart Materials, Nano-, and Micro- Smart Systems, Dec 2002, Melbourne, Australia. ⟨10.1117/12.469740⟩. ⟨hal-01694312⟩
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