A Chemical Vapor Deposition Route to Epitaxial Superconducting NbTiN Thin Films
N. Tsavdaris
(1)
,
D. Harza
,
S. Coindeau
(1)
,
G. Renou
(1)
,
F. Robaut
(2, 1)
,
E. Sarigiannidou
(3)
,
M. Jacquemin
(1)
,
R. Reboud
(1)
,
M. Hofheinz
(4)
,
E. Blanquet
(1)
,
Florian Mercier
(1)
D. Harza
- Fonction : Auteur
E. Sarigiannidou
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1266228
- IdHAL : eirini-sarigiannidou
- ORCID : 0000-0003-3779-445X
- IdRef : 086257447
E. Blanquet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 739157
- IdHAL : elisabeth-blanquet
- ORCID : 0000-0001-6467-9110
- IdRef : 135652669
Florian Mercier
- Fonction : Auteur
- PersonId : 751148
- IdHAL : florian-mercier