Communication Dans Un Congrès
Année : 1999
Bertrand BOUDART : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01654470
Soumis le : lundi 4 décembre 2017-09:05:40
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01654470 , version 1
Citer
X. Hue, B. Boudart, Y. Crosnier. Développement d’une attaque chimique sélective entre GaAs et Al0.22Ga0.78As et application au creusement du fossé de grille d’un TEC de puissance. 7es Journées Nationales Microélectronique et Optoélectronique (JNMO), 1999, Egat, France. ⟨hal-01654470⟩
Collections
18
Consultations
0
Téléchargements