Communication Dans Un Congrès
Année : 1994
Bertrand BOUDART : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01654282
Soumis le : dimanche 3 décembre 2017-17:02:31
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01654282 , version 1
Citer
B. Boudart, Christophe Robert, Didier Theron, R. Westphalen. Photolithography for recessed lift-off technology application to low temperature GaAs MISFET’s ohmic contacts. 4th European Workshop on Heterostructure Technology (HETECH), 1994, Ulm, Germany. ⟨hal-01654282⟩
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