Nitride Nanowires: From Rigid to Flexible Piezo-generators - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2016

Nitride Nanowires: From Rigid to Flexible Piezo-generators

Résumé

Here we employ self-assembled Mg-doped GaN nanowires(NWs) grown by plasma assisted molecular beam epitaxy on Si(111) substrates to fabricate piezogenerators. We will first discuss the fabrication and testing of rigid nanowire-based generators and then a flexible generator prototype will be shown.
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Dates et versions

hal-01653358 , version 1 (01-12-2017)

Identifiants

Citer

L. Lu, N. Jamond, Pascal Chrétien, F. Houzé, L. Travers, et al.. Nitride Nanowires: From Rigid to Flexible Piezo-generators. PowerMEMS 2016, Dec 2016, Paris, France. ⟨10.1088/1742-6596/773/1/012010⟩. ⟨hal-01653358⟩
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