Application of the cryogenic etching for mold fabrication in Si substrates
Dmitri Yarekha
(1)
,
Mathieu Halbwax
(1)
,
N. Belouchrani
,
Vincent Magnin
(1)
,
Joseph Harari
(1)
,
Jean-Pierre Vilcot
(1)
,
Encarnacion Torralba
(2)
,
Sylvain Le Gall
(3)
,
Raphaël Lachaume
(3)
,
Stéphane Bastide
(2)
Dmitri Yarekha
- Fonction : Auteur
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Mathieu Halbwax
- Fonction : Auteur
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N. Belouchrani
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Vincent Magnin
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Joseph Harari
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Jean-Pierre Vilcot
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Encarnacion Torralba
- Fonction : Auteur
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Sylvain Le Gall
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Raphaël Lachaume
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Stéphane Bastide
- Fonction : Auteur
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