60Co gamma irradiation effects on electrical characteristics of Al/Y2O3/n-Si/Al capacitors - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Microelectronic Engineering Année : 2010

60Co gamma irradiation effects on electrical characteristics of Al/Y2O3/n-Si/Al capacitors

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics] Matériaux

Bertrand BOUDART  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01647611

Soumis le : vendredi 24 novembre 2017-14:20:27

Dernière modification le : mercredi 9 mars 2022-14:14:03

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Dates et versions

hal-01647611 , version 1 (24-11-2017)

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Citer

Minh-Tri Ta, David Briand, Bertrand Boudart, Yannick Guhel. 60Co gamma irradiation effects on electrical characteristics of Al/Y2O3/n-Si/Al capacitors. Microelectronic Engineering, 2010, 87 (11), pp.2158 - 2162. ⟨10.1016/j.mee.2010.01.018⟩. ⟨hal-01647611⟩

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