Raman characterization before and after rapid thermal annealing of CeO 2 thin films grown by rf sputtering on (111) Si - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Journal of Raman Spectroscopy Année : 2009

Raman characterization before and after rapid thermal annealing of CeO 2 thin films grown by rf sputtering on (111) Si

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

Bertrand BOUDART  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01646844

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Dates et versions

hal-01646844 , version 1 (23-11-2017)

Identifiants

Citer

Y. Guhel, M. T. Ta, J. Bernard, B. Boudart, J. C. Pesant. Raman characterization before and after rapid thermal annealing of CeO 2 thin films grown by rf sputtering on (111) Si. Journal of Raman Spectroscopy, 2009, 40 (4), pp.401 - 404. ⟨10.1002/jrs.2140⟩. ⟨hal-01646844⟩

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