Chemical and optical profiling of ultra thin high-k dielectrics on silicon - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Thin Solid Films Année : 2008

Chemical and optical profiling of ultra thin high-k dielectrics on silicon

M. Mackenzie
  • Fonction : Auteur
O. Buiu
  • Fonction : Auteur
P. Bailey
  • Fonction : Auteur
T. C. Q. Noakes
  • Fonction : Auteur
W. M. Davey
  • Fonction : Auteur
B. Hamilton
  • Fonction : Auteur
S. Hall
  • Fonction : Auteur

Résumé

no abstract

Dates et versions

hal-01633138 , version 1 (11-11-2017)

Identifiants

Citer

S. Bernardini, M. Mackenzie, O. Buiu, P. Bailey, T. C. Q. Noakes, et al.. Chemical and optical profiling of ultra thin high-k dielectrics on silicon. Thin Solid Films, 2008, 517 (1), pp.459-461. ⟨10.1016/j.tsf.2008.08.048⟩. ⟨hal-01633138⟩
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